钙钛矿材料因其优异的光电性能成为太阳能光伏领域的研究热点，但易挥发有机组分（如甲基碘化铵MAI）的沉积难题长期制约其产业化进程。针对这一技术瓶颈，PEROvap真空镀膜系统应运而生，通过创新设计为科研与生产提供稳定可控的沉积环境。

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突破传统工艺限制

传统真空沉积工艺在钙钛矿材料处理中面临显著挑战：甲基碘化铵MAI等钙钛矿材料即使在常温下也易二次挥发，导致薄膜均匀性差、器件性能参差不齐。PEROvap通过专利环境控制技术，在沉积过程中精确调控温度与真空度，抑制材料的非预期再蒸发，确保薄膜成分与结构的稳定性和均匀性。

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核心技术优势

• 拥有专利技术的超低温蒸发源ULT

• 最多可配置8个蒸发源 (可实现共蒸)

• 适配M12硅片（210×210mm²）及定制化大尺寸基底

• 高稳定性 & 高重复性 & 高均匀性

• 可集成于手套箱（O₂/H₂O＜1ppm）

• 自动化兼容接口（机械臂/集群系统）

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推动产业化进程

凭借MBRAUN先进的工程设计经验和在真空沉积技术领域的深厚积累，PEROvap为研究人员提供了精准可靠的钙钛矿材料沉积解决方案。凭借专利级环境控制技术，攻克钙钛矿材料易二次挥发、成膜不均等行业痛点。通过简化操作流程、提升工艺容错率，显著降低钙钛矿器件开发门槛。无论是实验室级样品制备还是中试产线验证，该系统均能提供可靠的数据支持和生产过渡方案。

以下为一些应用案例：