近期，布劳恩向多所高校研究所成功交付了多台UNIvap与OPTIvap型号镀膜设备，支持客户在真空环境中制备微纳器件所需的金属、电介质及有机物等多类膜层，为前沿科研提供关键设备支撑。

产品主要特点

UNIvap与OPTIvap系列设备专为金属、光学、半导体、光伏及储能电池领域的薄膜沉积而设计，具有以下特点：

• 灵活紧凑的模块化设计

• 独立式或与手套箱集成

• 可定制样品台以及掩膜板可定制多种蒸发源（金属源、电子束、高/低温温控源）

• 可定制多种溅射源（圆靶2"~6" 、方形靶、低损伤溅射等）

• 膜厚均匀性：+/-3 % ，特殊定制可实现+/-1 %

• 全自动控制传样系统实现多腔室样品互传

• 全自动镀膜控制系统实现配方化工艺参数管理

集成于手套箱内部的OPTIvap

布劳恩作为全球领先的惰性气体系统解决方案供应商，致力于开发多配置、可定制化的薄膜沉积系统。其镀膜平台支持集成多种主流镀膜技术，包括金属热蒸发、温控有机材料蒸发、多穴电子束蒸发，以及射频、直流、脉冲直流磁控溅射和反应射频磁控溅射等。

凭借这种卓越的技术实力与灵活的系统整合方案，布劳恩已成为众多客户在高端薄膜沉积应用中的首选合作伙伴。